Plasma는 물질의 제 4의 상태를 의미하는 것으로써, 공간내의 분자들이 이온화된 형태로 존재하면서 전체적으로 중성을 유지하나, 내부적으로는 양이온과 음이온들이 동수(同數)로 혼재되어 있는 매우 불안정한 상태로 화학적 반응이 매우 활발하게 이루어지고 있는 고에너지 상태를 의미한다.

Plasma는 크게 고온과 저온(상압) 플라즈마로 구분된다.


고온 Plasma

고온플라즈마는 태양, 핵융합, 플라즈마 토치 등 온도가 수천℃ 이상의 고온으로 일반적으로 절단 및 용융, 소각 등에 이용하고 있다.


저온(상온) Plasma

Non-thermal Plasma(저온 플라즈마)는 상온 상태에서 고전계를 인가하거나, 고밀도 자기장에 의해 형성되며 반도체를 비롯한 각종 제조공정과 Gas 제조 및 처리공정 등에 널리 활용되고 있으며, 특히 상압플라즈마를 이용한 표면개질 분야와 Cleaning 공정의 응용은 차세대 신기술로 각광받고 있다.

물질의 상태 흐름도
Lighting is a kind of plasma